壓電式力傳感器大多是利用正壓電效應(yīng)制成的。基于壓電效應(yīng)的壓力傳感器。它的種類(lèi)和型號(hào)繁多，按彈性敏感元件和受力機(jī)構(gòu)的形式可分為膜片式和活塞式兩類(lèi)。膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成。
壓電式壓力傳感器大多是利用正壓電效應(yīng)制成的。正壓電效應(yīng)是指：當(dāng)晶體受到某固定方向外力的作用時(shí)，內(nèi)部就產(chǎn)生電極化現(xiàn)象，同時(shí)在某兩個(gè)表面上產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷;當(dāng)外力撤去后，晶體又恢復(fù)到不帶電的狀態(tài);當(dāng)外力作用方向改變時(shí)，電荷的極性也隨之改變;晶體受力所產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比。
逆壓電效應(yīng)又稱(chēng)電致伸縮效應(yīng)，是指對(duì)晶體施加交變電場(chǎng)引起晶體機(jī)械變形的現(xiàn)象。用于電聲和超聲工程的一般使用逆壓電效應(yīng)制造的變送器。
基于壓電效應(yīng)的壓力傳感器。它的種類(lèi)和型號(hào)繁多，按彈性敏感元件和受力機(jī)構(gòu)的形式可分為膜片式和活塞式兩類(lèi)。
膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成(見(jiàn)圖)。壓電元件支撐于本體上，由膜片將被測(cè)壓力傳遞給壓電元件，再由壓電元件輸出與被測(cè)壓力成一定關(guān)系的電信號(hào)(見(jiàn)壓電式傳感器)。
這種傳感器的特點(diǎn)是體積小、動(dòng)態(tài)特性好、耐高溫等?，F(xiàn)代測(cè)量技術(shù)對(duì)傳感器的性能出越來(lái)越高的要求。例如用壓力傳感器測(cè)量繪制內(nèi)燃機(jī)示功圖，在測(cè)量中不允許用水冷卻，并要求傳感器能耐高溫和體積小。壓電材料適合于研制這種壓力傳感器。
比較有效的辦法是選擇適合高溫條件的石英晶體切割方法,例如XYδ(+20°～+30°)割型的石英晶體可耐350℃的高溫。而LiNbO3單晶的居里點(diǎn)高達(dá)1210℃，是制造高溫傳感器的理想壓電材料。
應(yīng)用
壓電式壓力傳感器廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學(xué)測(cè)量中，比如說(shuō)心室導(dǎo)管式微音器就是由壓電傳感器制成的，壓電壓力傳感器常用于動(dòng)態(tài)壓力，所以壓電壓力傳感器的應(yīng)用就非常廣。
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